測量分析顯微鏡

更新時間：2021-01-06

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產品簡介：

測量分析顯微鏡是一種兼顧影像、目視與納米高度測量多用的高精度測量儀器。該產品具有電視成像與目視光學兩套瞄準系統，可人工觀察金屬表面的金相組織結構，是集光、機、電、算、影像于一體的顯微鏡。該產品以二維測量為主，也可作三維輔助測量，應用于電子組件、精密模具、塑料、PCB加工方面、鍍膜厚度、手機玻璃等工業領域。

產品特點：

1. X、Y、Z三軸0.5μm分辨力

2. 電動Z軸分辨力0.1μm

3. 具有高度自動測量

4. 內建偏光測量光學模塊

5. 高速/無接觸測量

6. 同軸光/底光測量

7. 可搭配白光納米檢測模塊測量納米級厚度

測量分析顯微鏡技術規格參數：

型號		PZ-3020MA
工作臺	金屬臺尺寸(mm)	500 x 330
	玻璃臺尺寸(mm)	350 x 250
	X、Y軸運動行程(mm)	300 x 200
手動Z軸行程(mm)		120
自動Z軸行程(mm)		2
外形尺寸(mm)		825 x 660 x 910
儀器重量(kg)		130
X、Y、Z軸分辨力(μm)		0.5
自動Z軸分辨力(μm)		0.1
示值誤差(μm)		E_1XY=( 2.5+ L/100) μm (L為測量長度，單位mm)
物鏡放大倍數誤差		包括畸變在內的放大率誤差≦0.08%
落射照明光源		可調高亮度鹵素燈
底光照明光源		可調高亮度LED燈源
		目視系統	影像系統
物鏡放大倍數		5X、10X、20X、50X	5X、10X、20X、50X；10X Mirau物鏡
目鏡放大倍數		10X雙鏡筒	1/2”CCD攝像機
視頻總倍率		50X ~500X	142.5X ~1425X (19.5”顯示器，分辨率1440 x 900)
單層透明膜厚度測量模組
高精度測量模式					快速測量模式
厚度測量范圍		100nm ~300nm	300nm ~500nm	500nm ~3μm	3μm ~20μm
分辨力		5nm	5nm	7.5nm	0.1μm

測量軟件介紹：

(1) 測量元素種類齊全：直接測量12種元素（點、直線、圓、圓弧、橢圓、矩形、槽形、○形環、距離、角度、開云線,閉云線）。測量閉合云線的周長，面積及重心，使用三次插值算法，為目前準測量云線的方法。采樣點越多，越準確。

(2) *尋邊算法：確保尋邊準確無誤.亞像素尋邊，精度可達像素的1/10，專業的專家尋邊模式，或解決打了表面光之后，尋邊困難的問題，通過各種尋邊算法的設置，可解決各種各樣的尋邊難題，從而準確的抓取邊界。有自動去毛邊功能，對陰暗不明的邊界一樣可以準確的找出.

(3) 宏測量功能：宏測量功能就是，將一些測量，構造命令關聯到一個按鈕上。點擊按鈕，即開始執行宏測量功能，宏測量功能會自動完成構造動作，減少用戶操作鼠標次數，提高工作效率。軟件提供了16組宏測量功能，用戶可以自己編輯宏測量功能按鈕的圖標。

(4) 強大的構造功能：軟件提供向導的構造功能，這是軟件的一大特色。客戶想要什么結果,直接點擊相關按鈕，就可以自動得到想要的結果.軟件提供了10種構造法（【平移】、【旋轉】、【提取】、【組合】、【平行】、【垂直】、【鏡像】、【對稱】、【相交】、【相切】）

(5) 的小R角測量算法：對于大半徑,小弧長的R角，一直是測量界的測量難題，我公司經過大量的實驗及算法優化，終于創造出一套行之有效的算法,很好的解決這一問題.通過測量弧及弧相鄰的兩條切線，可解決這一難題.經實踐,重復性可達0.01之內.

(6) 自動判別測量(自動識別線，圓，弧)：只要將鼠標放在工件的邊緣上，即可自動尋邊得到線，圓或者弧.

(7) 顯示結果豐富：對各種元素的測量結果顯示﹐其信息量大﹐能滿足各種客戶的需要。并可設置哪些內容顯示,哪些內容不顯示﹐也可以單個元素進行設置其顯示信息。也可對同類元素進行設置.

(8) 超差紅色警示：如果測量結果超差，會指示是哪項內容超差，并將該項顯示成紅色，對應的圖形也會變成紅色.

(9) 能顯示光學放大倍率和屏幕放大倍率：下圖中顯示了光學放大倍率與屏幕放大倍率，屏幕放大倍率是由軟件自動計算得到的，并能顯示一個像素相當于多少mm。

(10) 能建立多重工件坐標系：可根據圖紙建立多重工件座標系。實現各坐標系的座標變換；能方便地實現直角坐標系與極坐標系之間的相互轉換；能實現各工件坐標系的存儲和調用。建立座標系后，如果選擇了十字線旋轉功能，十字線會作旋轉，指示座標系的旋轉方向

(11) 建立用戶程序方便快捷：可以通過平移和旋轉建立的用戶程序。

(12) 編輯修改用戶程序,直觀方便：可以刪除，插入任一元素，包括座標系。可以查看某個元素的尋邊狀況，及改變尋邊測量的環境。如果有必要，可以重新測量一個元素，以改變它的測量方法及環境。

(13) 機器自動測量過程中可進行手動測量：如果客戶在測量某個，或某幾個元素時，希望手動測量它，而不希望機器自動去測，軟件可以輕松實現。軟件提供了斷點設置功能，可在要手動測量的元素地方，設置斷點，則機器運行到該處時，會自動停下來。