激光共聚焦顯微鏡

更新時間：2021-01-11

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激光共聚焦顯微鏡OLS5000可觀察納米范圍的臺階，并可測量亞微米級別的高度差。還可以測量從線到面的表面粗糙度。配備的兩套光學系統（彩色成像光學系統和激光共焦光學系統）讓其能夠獲取彩色信息、高度信息和高分辨率圖像。

激光共聚焦顯微鏡OLS5000 有4大關鍵價值：

捕捉任意表面形狀。

快速獲得可靠數據。

使用簡單 - 只需放置樣品并按一下按鈕即可。

測量具有挑戰性的樣品。

價值1：捕捉任意表面形狀。

OLS5000顯微鏡的技術使其能夠進行高分辨率的3D樣品測量。

價值2、快速獲得可靠數據

該顯微鏡的掃描算法既可提高數據質量又可提高速度，從而縮短您的掃描時間，簡化您的工作流程，終實現生產力的提升。

價值3、使用簡單，只需放置樣品并按一下按鈕即可

LEXT OLS5000顯微鏡具有自動數據采集功能，因而無需進行復雜的設置調整。甚至生疏的用戶也可以獲得準確的檢測結果。

價值4、可測量具有挑戰性的樣品

低輸出、非接觸式無損激光測量意味著不需要樣品制備。可以在不損壞易損性材料的情況下對其進行測量。擴展架可容納高達210毫米的樣品，而超長工作距離物鏡能夠測量深度可達25毫米的凹坑。在測量這兩類樣品時，您只需將樣品放在載物臺上即可。

激光共聚焦顯微鏡OLS5000獲取彩色信息
彩色成像光學系統使用利用白光LED光源和CMOS相機獲取彩色信息。
[獲取3D 高度信息和高分辨率共焦圖像]
激光共焦光學系統采用405納米激光二極管光源和高靈敏度光電倍增管獲得共焦圖像。淺焦深使其能夠用于測量樣品的表面不規則性。

激光共聚焦顯微鏡OLS5000405納米激光光源

光學顯微鏡的橫向分辨率隨著波長的減小而獲得提升。采用短波長激光的激光顯微鏡相比采用可見光（峰值550納米）的傳統顯微鏡具有橫向分辨率。 OLS5000顯微鏡利用405納米短波長激光二極管獲得的橫向分辨率。
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激光共聚焦顯微鏡OLS5000激光共焦光學系統

激光共焦光學系統僅接收通過圓形針孔聚焦的光線，并非采集從樣品上反射和散射的所有光線。這樣有助于消除模糊，讓其能夠獲得比普通顯微鏡對比度更高的圖像

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激光共聚焦顯微鏡OLS5000 X-Y掃描儀

OLS5000顯微鏡配有奧林巴斯光學掃描儀。通過將采用電磁感應MEMS諧振掃描儀的X軸與采用Galvano掃描振鏡的Y軸相結合，能夠讓X-Y掃描儀定位于相對物鏡瞳鏡共軛的位置，因而能夠實現具有較低掃描軌跡失真和較小光學像差的X-Y掃描。

激光共聚焦顯微鏡OLS5000高度測量原理

在測量高度時，顯微鏡通過自動移動焦點位置獲取多個共焦圖像。
根據非連續的焦點位置（Z）和檢測光強度（I）可以估算每個像素的光強變化曲線（I-Z曲線），并獲得其峰值位置和峰值強度。由于所有像素的峰值位置與樣品表面的不規則性相對應，因此可以獲得樣品表面的3D形狀信息。與此類似，通過峰值強度數據可以獲得針對樣品表面所有位置焦點的圖像（擴展圖像）。