010-87681080
010-87681080
技術文章
TECHNICAL ARTICLES
更新時間：2020-12-26
點擊次數：2695
微分干涉LCD FPD測量顯微鏡 粒子分析
測量顯微鏡主要用于LCD、PDP、PCB等相關的光電產業(yè)，具有觀察OLB壓接粒子分布、液晶板表面貼附的異物、液晶板劃傷情況、測量導電粒子大小、數量等功能。是一種兼顧影像與目視兩用的高精度、率測量儀器。它具有電視成像與目視光學兩套瞄準系統(tǒng)，是集光、機、電、算、影像于一體的測量型金相顯微鏡。該儀器用于電子組件、精密模具、精密刀具、塑料、PCB加工等方面，不僅可用作坐標測量，還可以目鏡標準分劃板作顯微放大比較測量，測量螺紋的節(jié)距、外徑、牙角等工件尺寸或外形輪廓，ACF導電粒子形狀和瑕疵觀察，除應用于長度、角度測量外，還可作為觀察顯微鏡。是機械、電子、儀表、鐘表、輕工、塑料行業(yè)，院校、研究所和計量檢定部門的計量室、實驗室已經生產車間檢測設備之一。
1. 符合人機工程學設計準則方便操作測量
2. 工作臺一鍵式氣動單手快速移動操作
3. 可實現Z軸自動對焦
4. 具有偏光和DIC檢測功能
5. 采用被動式減震裝置，提高整機精度穩(wěn)定性
6. 測量軟件，高清晰1/2"彩色攝像機
7. 可通過激光指示器尋找被測工件的具體位置，可適應復雜工件的測量
8. 可實現高度輔助測量
9. Z軸光柵尺分辨力為0.1μm
10. 同軸光/底光測量
11. 可搭配白光納米檢測模塊測量納米級厚度
測量顯微鏡工作原理如下圖所示，被測工件置于工作臺上，在底光或表面光照明下，它由物鏡成放大像，經過分光與反射系統(tǒng)后，一路成像于目鏡分劃板上，人眼通過目鏡可觀察到一個放大的正像；另一路成像于彩色CCD上，攝像機攝取工件像后通過網口傳送至計算機及彩色液晶顯示器上，顯示出一個與工件*同向的放大清晰影像。我們可以通過目鏡或液晶顯示器對工件像進行瞄準定位，通過數字測量系統(tǒng)：光柵尺與專業(yè)測量軟件對測量數據進行數據處理，即光柵尺的信號與計算機主機通訊，供專業(yè)軟件進行測量和數據處理。目視測量系統(tǒng)還可以利用目鏡分劃板上預先刻制好的標準圖形對工件進行比較測量。底光照明光源與顯微鏡自帶表面光源，視工件的性質兩種照明可分別使用，也可同時使用。
何謂ACF(異方性導電膠)：其特點在于Z軸電氣導通方向與XY絕緣平面的電阻特性具有明顯的差異性。當Z軸導通電阻值與XY平面絕緣電阻值的差異超過一定比值后，既可稱為導電異方性。貼合工藝：導電粒子在黏合劑中均勻分布,互不接觸,加之有一層絕緣膜,ACF 膜是不導電的,當對ACF膜加壓、加熱后導電粒子絕緣膜破裂,并互相在有線路的部分(因為較無線路部分突起) 擠壓在一起,形成導通,被擠壓后的導電粒子體積是原來的3～4 倍(導電粒子體積不變，差別在于原本是球體狀，經過熱壓后變成類似圓餅狀，讓上下電極有更多的面積接觸到導電粒子),加熱使黏合劑固化,保持導通狀態(tài)。
注意點：導電粒子的粒徑分布和分布均勻性亦會對異方導電特性有所影響。通常，導電粒子必須具有的粒徑均一性和真圓度，以確保電極與導電粒子間的接觸面積一致，維持相同的導通電阻，并同時避免部分電極未接觸到導電粒子，導致開路的情形發(fā)生。常見的粒徑范圍在3~5μm之間，太大的導電粒子會降低每個電極接觸的粒子數，同時也容易造成相鄰電極導電粒子接觸而短路的情形；太小的導電粒子容易行成粒子聚集的問題，造成粒子分布密度不平均。
在這邊要先說明何謂微分干涉差系統(tǒng)：用四個的光學組件：偏振器（polarizer）、DIC棱鏡、DIC滑行器和檢偏器（analyzer）。偏振器直接裝在聚光系統(tǒng)的前面，使光線發(fā)生線性偏振。在聚光器中則安裝了石英Wollaston棱鏡，即DIC棱鏡，此棱鏡可將一束光分解成偏振方向不同的兩束光（x和y），二者成一小夾角。聚光器將兩束光調整成與顯微鏡光軸平行的方向。初兩束光相位一致，在穿過標本相鄰的區(qū)域后，由于標本的厚度和折射率不同，引起了兩束光發(fā)生了光程差。在物鏡的后焦面處安裝了第二個Wollaston棱鏡，即DIC滑行器，它把兩束光波合并成一束。這時兩束光的偏振面（x和y）仍然存在。后光束穿過第二個偏振裝置，即檢偏器。在光束形成目鏡DIC影像之前，檢偏器與偏光器的方向成直角。檢偏器將兩束垂直的光波組合成具有相同偏振面的兩束光，從而使二者發(fā)生干涉。x和y波的光程差決定著透光的多少。光程差值為0時，沒有光穿過檢偏器；光程差值等于波長一半時，穿過的光達到大值。于是在灰色的背景上，標本結構呈現出亮暗差。為了使影像的反差達到狀態(tài)，可通過調節(jié)DIC滑行器的縱行微調來改變光程差，光程差可改變影像的亮度。調節(jié)DIC滑行器可使標本的細微結構呈現出正或負的投影形象，通常是一側亮，而另一側暗，這便造成了標本的人為三維立體感，類似大理石上的浮雕。
軟件功能：
1. 繪圖功能：可以畫點、畫線、畫圓、畫弧、畫并行線、畫垂直線、畫中分線、畫矩形、畫四邊形等復雜幾何圖形。
2. 多點取線、圓、弧功能：可選擇任意多的點畫圖增加測量準確度，還可得出線的真直度和圓的真圓度等數據。
3. 找交點功能：可以自動捕捉線和線、線和圓或弧、圓和圓或弧等任意圖形的交點，方便測量需要。
測量功能：可測量線的長度；圓的直徑、半徑；弧的直徑、半徑、掃描角度；點到線的垂直距離；圓到線的垂直距離；圓到圓的距離；并行線 間距；線排的Pitch間距；角度；兩點的線性距離等尺寸。
宏命令：可把上一次測量過程記錄下來，同樣的工件既可以調出來使用。一個命令即可完成上一個工件的全部操作，降低的軟件操作難度、提 高了測量速度。
6. 自動檢測：可以自動檢測工件上的線、圓、弧、并行線、角度等幾何圖形，還可以對工件進行邊緣掃描。快速而準確。
7. 十字線繪圖功能：可以用軟件上的十字線結合腳踏板繪圖、測量，降低操作難度，提高學習速度。
8. 自動R角功能：可以根據工件上的邊線自動作出和兩邊相切的R角，增加了測量速度和測量精度。
9. 標注功能：可標注所有測量尺寸方便拍照。
10. 編輯功能：可以任意移動、復制、旋轉、鏡像、刪除、打斷、延伸所畫圓素，操作方便快捷，配合編輯功能可測量任意復雜
幾何尺寸。
11. 拍照功能：可以隨時抓取工件照片及標注尺寸和所繪的圖形，可打印或發(fā)給他人遠程使用。
12. 儲存Word數據功能：可以隨時儲存測量數據到Word中，得出測量結果的質量檢測報告，測量數據不用人工抄寫，增加測量速
度。
13. 儲存Excel數據功能：可以隨時儲存測量數據到中，得出測量結果的質量檢測報告，測量數據不用人工抄寫，增加測量
速度,同時也可以做SPC數據分析。
14. 儲存DXF檔案功能：可將所畫工件的工程圖儲存為AutoCAD檔案，可用AutoCAD開啟生成工件的工程圖紙。
終解釋:北京品智創(chuàng)思精密儀器有限公司
當前位置：
